压力测量及真空技术 六、真空的测量 1、热偶真空规 热偶真空规的结构示意如图所示。当气体压力低于某一定值时，气体的导热系数K与压力p存在的正比关系（式中b为一比例系数），热偶真空规就是基于这个原理设计的。测量时，将热偶规连入真空系统内，调节加热丝上的加热电流恒定不变，则热电偶温度将取决于真空规内气体的导热系数；而热电偶的热电势又是随温度而变化的。因此，当与热偶规相连的真空系统的压力降低时，气体导热系数减小，加热丝的温度升高，热电偶的热电势便随之增高。由此可见，只要检测热电偶的热电势即可确定系统的真空度。
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的正比关系（式中b为一比例系数），热偶真空规就是基于这个原理设计的。测量时，将热偶规连入真空系统内，调节加热丝上的加热电流恒定不变，则热电偶温度将取决于真空规内气体的导热系数；而热电偶的热电势又是随温度而变化的。因此，当与热偶规相连的真空系统的压力降低时，气体导热系数减小，加热丝的温度升高，热电偶的热电势便随之增高。由此可见，只要检测热电偶的热电势即可确定系统的真空度。