压力测量及真空技术

　 六、真空的测量
　 2、电离真空规
　 电离真空规的结构如图所示。电离真空规实际上是个三极管，将电离真空规连入真空系统内。测量时规管灯丝通电后发射电子，电子向带正电压的栅极加速运动并与气体分子碰撞，使气体分子电离，电离所产生的正离子又被收集极吸引而形成离子流。此离子流I+与气体的压力p呈线性关系：
　　　　　　　　

　式中S为规管灵敏度，I_e为发射电流。对一定的规管来说，S 和I_e为定值。因此测得I₊即可确定系统的真空度。
　 用电离真空规测量真空度，只能在被测系统的压力低于10^-1Pa时才可使用，否则将烧坏规管。

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