压力测量及真空技术

　 五、真空的获得
　 2、扩散泵
　 若使系统获得10^-1~10^-６Pa的高真空，需采用扩散泵。下图是玻璃油扩散泵的结构和工作原理示意图。扩散泵底部的硅油被电炉加热沸腾、气化后通过中心导管从顶部的二级喷口处高速喷出，在喷口处形成低压，对周围气体产生抽吸作用而将气体带走。同时硅油蒸气即被冷凝成液体回到底部，重复循环使用。被夹带在硅油蒸气中的气体在底部富集后，随即被机械泵抽走。所以使用扩散泵时一定要以机械泵为前级泵，扩散泵本身不能抽真空。扩散泵所用的硅油容易氧化，所以升温不能过高，使用一段时间、硅油颜色变深后，就要更换新油。
　　　　　　　　　
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